半导体气体管路工程施工规范 二维码
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来源:苏州友旭通网址:https://www.friend-weld.com 半导体气体管路工程施工规范 1.承包商于进行配管焊接时,必须穿戴上干净无尘室专用手套及护具。 2.配管材料气体接触部分,不可用污秽的手套或用手直接触摸。 3.配管时必须使用超高纯度氩气作为焊接之气体,施工完后所有管路须用超高纯度氩气或氮气不间断PURGE,PURGE 排气须接至室外排放,以避免人员窒息危险。 4.配管焊接时,所有临时管路须为SUS 316 硬管。 5.所有配管焊接须于每日施工前,先做每一管径试件试焊,并须记录焊接机之焊接参数、合格试件及焊接参数,经监工人员检验合格后,施工人员才能开始施工。 6.焊接时,须使用内压管理。 7.1/2 英寸(含)以下管道可以使用弯管器,管弯半径R>5D(D 为外径)。若无法满足上述要求则一律使用ELBOW 施工。 8.配管时,切管、修倒角及端面,管子必须直立向下或平行,以避免铁屑附着于管内壁,且须小心进刀避免刮伤管内光滑表面。 9.配管切割后须以洁净 N2 GUN 气体清除,管内壁切割面应位于下流方向。 10.施工进行中,须按图施工,如发现施工图面出现问题或要求设计更改时,应立即回报监工处理,不可擅自做主。 11.所有 VCR 接头,在确定不会再拆或作最后复原时,安装Gasket 锁紧,并须于泄漏侦测孔标示圆圈标记。 12.所有完工之管路每隔 l.5 公尺及转弯、穿墙后,须加挂或贴上该种气体名称,流向之标签,标签须以划线对准,务求整齐一致。 13.施工承包商应将存储及施工区域的机具、环境卫生整理干净。 14.须符合验收标准,若违反或不符此规定之项目,须配合重新施工至合乎规范标准,而因此衍生出之成本增加及进度延误责任,一律由承包商自行吸收。 15.临时性洁净棚装设在现场。管路工作中,所有的预作管线部份均需在临时洁净棚内进行,以控制其微尘数。 16.焊接工作
17. 纯度提升之过程 在完成保压试验后,为了提升管线内部的纯净度,下列的过程可以一一进行之。
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